Plasmaätzen, auch Trockenätzen genannt, ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes gaschemisches Verfahren. In einem Vakuumreaktor, der bis zu einem Druck von wenigen Millibar mit einem Ätzgas gefüllt ist, wird eine Hochfrequenz- oder eine elektrodenlose Mikrowellenentladung gezündet und so ein hochreaktives Plasma erzeugt. Das Gas ätzt die Oberfläche des Substrats an, so dass feinste Strukturen, z.B. für Halbleiter, hergestellt werden können. Im Gegensatz zum nasschemischen Ätzen ist es mit Hilfe des Plasmaätzens möglich, auch anisotrop, d.h. richtungsabhängig, zu ätzen. Mit dem jeweils geeigneten Ätzgas ist nahezu jedes Material strukturierbar. JE PlasmaConsult GmbH bietet für das Plasmaätzen sowohl einzelne Plasmaquellen, Substrathalter, Diagnostikgeräte und komplette Industrie- und Forschungsanlagen/-systeme an.
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