Magnetron Sputtersystem MSC-3

Leistungsmerkmale:

• Bis zu vier wassergekühlte Magnetron Sputterquellen
• Exzellente Uniformität der Schichtdicke
• Kompatibel mit chemisch reaktiven und nicht-reaktiven Gasen
• Rotierbarer und vertikal verstellbarer Substrathalter
• Kundenspezifisches Design

Einsatzgebiete:

• Optische Schichten
• Kratzfeste Schichten
• Transparente und leitfähige Schichten
• Ant-Reflektions-Schichten
• Dekorative Schichten

Das JE PlasmaConsult GmbH  Magnetron Sputter-Beschichtungssystem MSC-3  System besteht aus fünf Hauptkomponenten:

• Bis zu vier wassergekühlten, planaren 3" Magnetron-Sputterquellen, aufgebaut auf einen DN 400 ISO-K Flansch, sowie HF oder DC-Generator
• Vakuumkammer inklusive Kammertür und Einlass für das Arbeitsgas, Belüftungsventil, sowie zwei Drucksensoren
• Substrathalter montiert auf einen DN 400 ISO-K Flansch, vertikal verstell- und rotierbar
• Pumpensystem bestehend aus einer Turbopumpe und einer zweistufigen Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe.
• Gasverteilungssystem incl. Massenflussreglern

Technische Daten:

Magnetron Sputterquellen

max. Leistung (DC)                  1.250 W

max. Leistung (RF)                    750 W

Druckbereich:                       3 x 10^-3 - 10^-1 mbar

max. Target Größe               3"

max. Substratgröße              4"            

Basisdruck:                           <10^-5 mbar