Substrathalter

Der Substrathalter eignet sich für den Betrieb mit HF und DC und ist wassergekühlt. Er kann während des Betriebs über eine Länge von 10 cm verfahren werden. Neben der Funktion als Substrathalter kann der RBS auch selber als Plasmaquelle verwendet werden. Erfahren Sie mehr über Anwendungen in unserer Tech Library.

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